a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。

 
b.應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設備或接口設備。
 
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。
 
d.規(guī)劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
 
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
 
f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
 
g.生產(chǎn)及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
 
h.應加強注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結(jié)露生銹。
 
i.當設備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
 
j.對于施工或維修之廠商，應告知進出無塵室之各項規(guī)定，且負責工程師應隨侍在側(cè)監(jiān)工。
 
k.應有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。
 
l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。